洁净厂房
发布时间:
2021-04-27
净化车澡的温湿度要求与中央空调厂房普通生产区域差异之处，它不仅需要满足生产者（员工）的舒适感，而且还需兼顾生产工艺及产品特性的要求。
不同生产工艺对生产环境的要求各有不同，随着产业升级生产工艺（环境）对洁净度及温湿度的要求也随之增高。
示例一（电子行业制造）
在电子制造领域生产区最重要的环节是防静电，这将对电子产品产生不利影响并降低产品的产量，对产品造成短路甚至造成员工导电晕倒事故。故而电子行业净化车间的相对湿度不应低于30%，为了减少静电的产生，净化车间的抗静电区域的相对湿度不低于50%，过于干燥的空气中易粉尘飞扬，电子行业净化车间无特殊要求的情况下，温度控制在23 ±2℃左右，相对湿度控制在55±5%RH之间，在这种生产环境下，人们感觉舒适，静电也消失了。
示例二（大规模集成电路）
大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种无尘车间不宜超过25℃。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55% RH时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50% RH时易生锈。
